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硅片洗濯装备
硅片洗濯手艺与装备
适用于(6寸、8寸)晶圆湿法洗濯,,,,,,,,其原理是使用种种化学药液与晶圆外貌种种杂质粒子(颗粒、有机物、金属污染物、氧化物)爆发化学反应,,,,,,,,天生溶于水的物质,,,,,,,,再用高纯水冲洗,,,,,,,,依次去除晶圆外貌的种种杂质。。。。。。
□ 装备特点
1.QDR快冲快排,,,,,,,,快速冲洗去除微粒杂质及残留化学药剂,,,,,,,,同时有用镌汰晶圆洗濯后接触空气生产的氧化膜;;;;;;;
2.超(兆)声系统,,,,,,,,高效、无损伤地洗濯产品;;;;;;;
3.准确的药液控制,,,,,,,,精准控制洗濯液配比,,,,,,,,为稳固的洗濯品质提供基�。。。。。�;;;;;;;
4.严酷的气体管控,,,,,,,,确保事情情形及职员清静。。。。。。废气排放处置惩罚切合环保要求。。。。。。
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